api激光干涉儀車床線性參數(shù)校準(zhǔn)

API激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

API激光干涉儀5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：

1. 線性：0.5ppm

2. 測量范圍：40米（1D可選80米）

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

4. zei大范圍：800角秒

5. 滾動角精度：1.0角秒

6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

7. zei大范圍：500um

8. 垂直度精度：1角秒

9. 溫度：0.2攝氏度

10.濕度：5%

11.壓力：1mmHg

API激光干涉儀5D/6D精密型：

1. 線性：0.2ppm

2. 測量范圍：25米

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值

4. zei大范圍：400角秒

5. 滾動角精度：0.5角秒

6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值

7. zei大范圍：300um

8. 垂直度精度：0.5角秒

9. 溫度：0.1攝氏度

10.濕度：3%

11.壓力：0.3mmHg

API激光干涉儀5D/6D高精密型：

1. 線性：0.2ppm

2. 測量范圍：根據(jù)用戶要求而定

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒

4. zei大范圍：500角秒

5. 滾動角精度：0.5角秒

6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um

7. zei大范圍：100um

8. 垂直度精度：0.5角秒

9. 溫度：0.1攝氏度

10.濕度：3%

11.壓力：0.3mmHg