PGI 輪廓儀關(guān)鍵技術(shù)亮點信息

PGI 輪廓儀關(guān)鍵技術(shù)亮點

混合測量技術(shù)

非接觸式白光干涉（WLI）：適用于超光滑表面（如光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓），避免劃傷樣品。

接觸式探針掃描：適用于高陡度、深溝槽或高粗糙度表面（如軸承滾道、噴油嘴），確保形貌完整性。

高分辨率 Z 軸光柵傳感器：垂直分辨率高達 0.1 nm（部分資料中提到系統(tǒng)垂直分辨力可達 0.01 nm，通常指在理想條件下的噪聲水平或重復(fù)性指標）。

計量性能

線性度誤差：±0.1%，確保大范圍測量中的準確性。

重復(fù)性：< 0.5%，提升批量檢測的一致性與可靠性。

動態(tài)范圍廣：從亞納米級粗糙度（Ra < 0.1 nm）到數(shù)十微米級粗糙表面均可覆蓋。

型號與應(yīng)用場景

PGI 420 / 820 / 1220：針對不同尺寸軸承的專用配置，行程與載重能力逐級提升。

PGI NOVUS：

Z 向量程達 20 mm，

垂直分辨率 0.2 μm（注：此處應(yīng)為 0.2 nm 更符合技術(shù)邏輯，若原文確為 μm，可能指特定模式下的工程分辨率），

支持多參數(shù)測量：表面粗糙度（Ra, Rz 等）、圓度、直徑、錐角、輪廓偏差等，廣泛用于汽車、航空航天、精密制造領(lǐng)域。

TalyMap® 軟件平臺

符合 ISO 4287、ISO 25178、ASME B46.1 等國際標準；

提供 200+ 表面參數(shù)（包括傳統(tǒng) 2D 參數(shù)與先進 3D 功能參數(shù)）；

支持 3D 形貌重建、濾波、自動報告生成、SPC 統(tǒng)計分析 等功能。