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愛佩儀激光干涉儀|XD LASER信息

  • 發(fā)布日期:2022-07-12      瀏覽次數(shù):876
    • 愛佩儀激光干涉儀|XD LASER信息

      XD Laser™激光干涉儀體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上,XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器,干涉鏡和6D傳感器組成,從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù),記錄準(zhǔn)確的長(zhǎng)度位置,光作直線度測(cè)量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測(cè)得,第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源,用來測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

      API激光干涉儀為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降到較小,從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓,環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響。測(cè)量?jī)x還配有站們?cè)O(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到*低。

      API激光干涉儀


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